Electron en Ion beaming
(Electron Microscope, Maskless lithography)
Type: 400 Watt
Kenmerken:
Output voltage keuzen van 1 kV tot 80 kV;
Conform SEMI F47 standaard;
Betrouwbaar en stabiel;
Positieve of Negatieve polariteit;
CE gemarkeerd;
Zowel plaatselijke en remote besturing en monitoring;
ACE beveiliging( ARC COUNT Extinguish) .
Type: 600 Watt
Kenmerken:
600Watt in 1U behuizing !
Output voltage selectie 1kV tot 80 kV;
Conform SEMI F47 standaard;
Hoge stabiliteit;
CE gemarkeerd;
Positieve of Negatieve polariteitACE beveiliging ( ARC COUNT Extinguish).
(C) 2006 - All rights reserved